壽力干式螺桿真空泵的應(yīng)用范圍：

1.多晶硅制備過程中低壓化學(xué)氣相沉積；

2.用作普通無油清洗真空系統(tǒng)的前泵，防止油污染；

3.半導(dǎo)體蝕刻工藝。經(jīng)常使用或產(chǎn)生腐蝕性氣體和磨粒；

4.蒸餾、干燥、消泡、包裝化工、醫(yī)藥、食品工業(yè)，防止有機溶劑污染，適用于干螺桿真空泵；

5.除半導(dǎo)體工藝外，部分工藝過程產(chǎn)生的顆粒不希望顆粒與泵油混合，希望顆粒從泵中排出，并使用一定類型的干式機械真空泵滿足要求。