真空輸送、真空浸漬、真空過(guò)濾、真空單調(diào)、真空脫氣(鋼水處理)等低真空設(shè)備需要低真空泵送，工作壓力高，排氣量大。

該低真空泵的主泵為往復(fù)式真空泵、油封真空泵、蒸汽輻射泵、水環(huán)泵、羅茨泵等。

根據(jù)廢氣的清潔度、濕度或其他特殊要求，干螺桿真空泵還必須配備必要的集塵器、單調(diào)儲(chǔ)罐等部件。

水蒸氣在收縮過(guò)程中凝結(jié)成液滴，與泵混合形成懸浮液，不僅降低了真空度，而且使泵腔和轉(zhuǎn)子生銹，破壞密封面，制造泵。

限制真空度。因此，機(jī)械泵防止水蒸氣污染非常重要。預(yù)防方法如下:

(1)選用帶氣鎮(zhèn)設(shè)備的油封機(jī)械泵；

(2)充油分離器、離心分離器或油水分離器，間歇混合水機(jī)械泵油，將處理后的油注入泵中使用；

(3)采用吸水性強(qiáng)的單調(diào)劑；

(4)液氮冷陷阱不僅能有效吸收水蒸氣，還能防止機(jī)械泵油回流到高真空室。

油分散泵真空系統(tǒng)泵真空系統(tǒng)。

油分散泵真空系統(tǒng)是應(yīng)用最廣泛的真空系統(tǒng)，真空范圍為1.3*10-3~1.3*10-5Pa。油分散泵真空系統(tǒng)構(gòu)成各種真空吸塵器。

長(zhǎng)期使用該設(shè)備后，常見的缺陷是真空不能抽空，或者真空不能抽到原來(lái)的極限真空度。真空室內(nèi)壁油污染和真空技術(shù)。

預(yù)防方法如下：

(1)定期清潔真空室；

(2)間歇清洗油封機(jī)械真空泵和油金屬分散泵。